245.第245章 举国之力的产物

来满足duv干式光刻机需求的镜片，甚至后续工艺继续改进后，搞出来duv浸润式光刻机的镜片也是问题不大！”

duv干式光光刻机和浸润式光刻机，虽然使用的光源都是af光源，但是浸润式光刻机的光源经过超纯水的折射后，波长却是演变为134纳米。

因为两者虽然光源系统看似一样，但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。

曹星辰继续说着：“甚至在这项技术上继续耕耘下去，未来是能够搞出来精度更高，可用于euv光刻机所需要的镜片的！”

一代代光科技的技术升级，除了光源系统不断升级进步外，还需要其他诸多子系统的配合，而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。

以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。

当然，其他方面，比如机台对准等也不能差就是了。

徐申学听着这些话，然后翻看着手中的技术手册，为了照顾徐申学这个不懂技术的人，这份技术手册用简单易懂的方式介绍了眼前的这台duv干式光刻机的基本情况以及各子系统的情况。

也就是之前徐申学常年给自己挂着一个b级科研名额的外挂，然后闲着没啥事的时候也会经常学习，翻看一些技术，尤其是半导体领域的技术资料。

所以多少也能够看出来这技术资料上描述的各种技术参数，其背后意味着什么！

就和王道林说的一样：这是一个举国之力才能够搞出来的顶级设备！

而且准确的说，光刻机这东西到了现在，真正能够靠着一国之力做出来的，只有华夏了，其他国家因为全球化分工的缘故，哪怕是美国也无法单独做出来光刻机了。

还是物镜为例子，主导的是南江科技，但是材料的研发实际上是和数十个研究所一起合作研发的。

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