245.第245章 举国之力的产物

！”

“我们公司是搞物镜，为了这个duv光刻机的物镜，我们是从材料到加工工艺，全都是重新搞的！”

“我们南江科技主导，还拉着一大票研究所，合作企业，同时展开了数十个新材料研究项目，挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”

“最终花了两年多时间，这才弄出来了堪用的材料！”

“但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”

“这加工更难！”

曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研发困境，不由得感叹：“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这duv干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”

“这种精度的加工，几乎超过普通人的想象！”

“而我们南光之前在生产i-line光刻机镜片以及kf光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”

“原有的这些技术用来加工duv光刻机所需要的镜片还不够！”

“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”

“为了解决这一问题，我们的研发团队一边现有技术进行研发，一边开发新技术，其中的一项新技术得到了迅速发展，这就是离子束抛光技术。”

说到这个离子束抛光技术的时候，曹星辰整个人都变的激动了起来：

“这项技术虽然也很难研发，为此耗费了我们大量的人力物力，但是真正做出来后效果那是真的好啊！”

“利用该技术我们可以轻易的加工出

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页 / 共8页