第260章 突破14n光刻机工艺

是定制的。

且不是你想定制就能定制的，得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

他之前花高价从荷兰买配件，就是因为那些配件如果全部自己生产的话，先不说短时间能不能生产出来，就算能做出来，价格也要贵上十倍都不止！

不过以后不行了，欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁，荷兰那边已经pass掉xhzz的订单申请。

不仅仅是荷兰，德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了，导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。

来到实验室，陈序控制机器人调校超精密工件台，而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。

一遍、两遍、十遍……

这一做就是十二小时，饿的实在撑不住了才出去吃一点，然后继续全身心的投入到实验中来。

超精密机械的调校是非常耗费时间精力的，像米国cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。

当然，陈序不可能像那些工程师一样，花费十年去调校一个零部件，也不需要。

小白会帮他省去百分之九十九的步骤。

半个月后，经过陈序废寝忘食的工作，把超精密工件台的精度调校到了3nm。

这是一个具有里程碑纪念意义的时刻！

因为3nm的超精密工件台已经满足了14nm光刻机的制备工艺要求。

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