第260章 突破14n光刻机工艺

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我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm，而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

首长听完后点点头，再次伸手拍拍陈序的手臂，“嗯，你是好样的！”

陈序被夸的有些不好意思了，呵呵笑着没说话。

一个小时后，下来考察调研的领导及随行人员乘坐考斯特离开了，陈序回到办公室直接瘫坐在了沙发里，说：“感觉比做十天实验还累。”

跟进来的中星微电子总负责人张海春，笑呵呵道：“一般搞学术的人，都不怎么喜欢这种场合，等以后习惯了应该会好一些。”

张海春是光刻机领域的大牛级人物，曾先后在asml及台积电工作，甚至还被smee聘请为高级总工程师，不过后来因为某些原因离职了。

他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。

“呵呵，也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟，“超精密工件台的实验怎么样了？”

“不怎么理想，目前实验最多只能到5nm，距离要求的2nm还有一定的差距，德国跟日苯那边……”

陈序听了一会，然后一把把香烟摁灭，起身道：“走，带我过去看看。”

光刻机和别的设备不一样，它里面大部分零部件都需要专门定制。

什么意思呢，就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

而越高端定制的比例也越高，到了10nm这个级别，里面90%以上都

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