大家可以想象成一个几个发光的激光手电筒。
3.移动工件台:让硅片有序曝光。
三句话,让一台光刻机了10亿元以上,其中自然有自己的道理。
这三句话虽然平平无奇,但是里面隐藏了人类工程学的众多巅峰之作,还包括马天系统开发出来的黑科技技术。
比如透镜。表面起伏不超过0.05n的蔡司透镜,是地球文明可以说最接近三体水滴的得意之作,平整度达到了原子级。
难度系数极高,设计、材料、工艺、组装缺一不可。
由穆尼国蔡司公司生产,蔡司为阿斯麦尔的光学部件独家供应商,蔡司的光刻机光学部件就约占阿斯麦尔产品成本的26%。
“独家”代表无可替代,“26%”表示成本极高。
从这里也可以看出这个透镜多吊了。
当然,这个技术被马天带人攻破了,原因就是不想给蔡司公司交费。
再比如对准。对准需靠能同步和曝光的双工件台系统,它是爱斯麦尔打败岛国光刻机厂商的法宝之一,现在也是天宇星海打败岛国光刻机厂商的法宝之一。
再比如最重要的光源——由60千瓦的激光驱动的极紫外光把液态锡轰成等离子体时发出的同感光波。
是马天根据系统在1000万影响值奖励给他的《一种新的高精度激光加工探究》论文研发出来的特殊光源(122章),就这个技术,正常企业最少要5年时间才能研究出来。
还有很多,这里就不举例了。
总而言之,光刻机称为人类巅峰机械之作不是没有道理,价格能到数10亿,也绝对是物有所值。
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