第一五一一章 GCA EUC光刻机股份公司

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只要项目有前途，即使多年亏本，也会有资

本愿意投入。

无知者无畏！

gca光刻机半导体研究院院长汤普森院士从1993年7月开始研发euv，gca前后投资了1.5亿美元，也没有取得成功，1997年7月自动放弃了研究。

1997年10月，汤普森院士出面邀请英特尔和美国能源部共同开发euv。

作为前euvllc联盟的cto，汤普森院士明白euv技术非常复杂，由于极紫外光在地球上不会自然产生，它会被空气吸收，这个过程必须在真空中进行，其中涉及用高功率激光以每秒5万次的速度轰击锡滴，使其产生能够发射极紫外光的等离子体，然后，光被一系列镜子聚焦，反射在一个掩膜版上。掩膜版上面刻有电路图案，能阻挡并吸收一些光，通过这种方式，电路图案被刻蚀在晶圆上。

理论变成产品，前期研发投资最少需要50亿美元，gca也负担不起，凭借gca一家的技术，也研究不出来。

「好的，董事长！」

艾德里安笑了，孙董事长一锤定音。

「我代表悟空天使投资基金投资2亿美元，入股gcaeuv光刻机股份公司。」

「董事长，intel愿意入股。」

intel前世也是euv光刻机项项目最坚定的支持者，受困于193nm波长的世界性光学难题，不能研制成功65nm光刻机，intel的第八代cpu的研制被迫停止，去年10月上市的athlonxp（速龙xp）对pentium4的市场地位造成了极大的冲击，造成intel的股价步入下降通道。

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