第478章 仿制？我们是自主研发！

案分解为多个子图案，最终组合成高密度、高分辨率图案，您觉得怎么样？”

听到他的讲述。

黄新华陷入漫长的沉思。

很快，想通其中关键的他，立刻眼睛一亮，道：

“太行了，利用多次图案化，就能实现比单次光刻更小的特征尺寸。”

“不过多次光刻和刻蚀的工艺十分复杂。”

“而且繁复的步骤，也容易产生缺陷问题。”

方法是个好方法。

不过问题也不是没有。

李暮道：

“这个好说，首先我们可以提高套刻精度，优化显影与刻蚀的工艺……”

……

书房内。

李暮和黄新华越聊越起劲。

说好的半个小时。

两人聊了2个小时，都还没有停下的意思。

见状。

关建民终于按捺不住，准备上前提醒。

不过王娅的动作更快。

她端着两碗煮好的面条，站到书房门口。

也不说话，就这么看着里面的两人。

似是有所感应。

李暮猛地一扭头，看到王娅。

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