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在改进的方向上。
李暮提出了6个方向。
其中最简单的,就是树脂体系的优化。
开发具有更高玻璃化转变温度的树脂,只是第一步。
接下里还要通过精确控制树脂的分子量分布,减少显影过程中的不均匀性。
以及使用低分子量树脂提高分辨率。
“不过在使用低分子量树脂的时候,平衡机械强度和抗刻蚀性上,我们遇到了一点小麻烦。”黄新华最后道。
在优化的过程当中,他们发现。
低分子量树脂的分子链较短,会导致材料的机械程度下降,更容易断裂或变形。
还有树脂结构上。
因为致密度不够,抗刻蚀性也会下降。
李暮沉吟片刻,道:
“那就通过化学交联,在低分子量树脂中形成三维网格结构,增强材料的机械强度和抗刻蚀性。”
“也可以采用复合树脂体系,将低分子量树脂和高分子量树脂混合起来。”
“引入刚性分子结构,也是一个可行的方向,刚性基团,如芳香环、环状结构等,利用增强分子链的刚性去……”
他慢慢地阐述着研究思路。
这些都是早就准备好的内容。
不过并不是所有的,都能实现。
比如纳米复合技术。将碳纳米管、石墨烯、纳米黏土等纳米材料分散到低分子量
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