172.第172章 全新歼20首次模拟战斗！以一敌十！忍无可忍的鹰酱！（6K）

第172章 全新歼-20首次模拟战斗！以一敌十！忍无可忍的鹰酱！（6k）

寂静的气氛持续了有几十秒，似乎连喘气声都清晰可见。

赵思远看着手中这一沓文件，一脸懵逼道：“张院长你没在开玩笑吧？”

“光刻机？duv技术光刻机？我们几时有这一种技术了？”

别说浸润式duv光刻机，更别说什么32n的制程，目前他们夏微电子也只能做到90n制程的投影式光刻机罢了。

结果你告诉他，现在夏科院拥有32n的duv光刻机技术？这是在开哪门子的玩笑？

都不能算是跨越式发展了，而是直接一飞冲天到了外太空。

“你先看看就知道了。”张予理颔首笑道。

“那我先看看吧.”

赵思远拧巴着眉头，带着疑惑打开了这一份文件。

看面倒是没有介绍什么研制方式，毕竟那实在是太过于繁琐了，而是一些十分简单的综述。

然而，既然如此他只是瞥了一眼上面写的描述，立刻脸上呆滞住了。

【利用26*8狭缝扫描，令晶圆片与掩膜版同步动态扫描.使其达成26*33曝光场.技术实施路线为：.】

【利用多重曝光技术.三重曝光（lelele）使其拆分为多个掩膜版上，使其图像雕刻密度迭加，工艺制程成倍提升，实施手段为：】

【.】

尽管只是粗略的看了几眼，但是从这些综述上而言他并没有发现太大问题。

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