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这石老头,也是有趣。
“我想直接搞定极紫外,搞定euv。”
没想到石磊没啥反应,就只是笑了笑,“好好好,有野心是好事。”
敷衍,赤裸裸的敷衍。
毕竟极紫外光的波长只有13.5n,比目前华夏都还没能搞出来的“上一代产品”duv光刻机所用深紫外光波长的193n短得多。
如果说深紫外目前还算是“存在”技术壁垒,那极紫外euv光刻机,就可以说全都是壁垒了。
他们对李颜的期待,是能在光刻机制造上给出一些突破性进展就行。
指望李颜的未来科技搓出来一台duv,那完全可以说是失心疯了。
所以,“有野心是好事”。
2011年10月18日,李颜收到了属于他的浸润式duv光刻机。
石磊团队跟华芯国际的科研团队都聚集在了未来科技的会议室,按照李颜的要求提供了大量光刻机使用的相关资料。
堪称事无巨细版超超超大号说明书。
“石院,我有个疑问。”李颜说道,“如果我们拥有光刻机每个零件的尺寸与位置,明白所有零件的作用与关系,能不能一比一复刻光刻机?”
“这是我们一直在做的事情,但且不说做不做得到,就算做到了,也只是光刻技术整合这块内容有所突破。光源,对准,这些同样是技术壁垒,光靠‘数据一致’是解决……哦,如果你说的是就连这些东西,都能得到分毫不差的数据,那倒是……”
说完石磊就在华芯国际总工程师魏本坚疑惑的眼神中陷入凌乱状态。
他
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