第239章 102所又一次国际震撼

;这些都要建立精确的数学模型进行计算。

而专门为氟化氩光源设计的ssppm固态脉冲功率模块，则完全是102所的黑科技了，双腔体结构准分子激光可以完全兼顾功率与线宽。

当直流充电电压达到800伏特，工作频率达到1千赫兹放电的脉冲上升到90纳秒，脉冲电压则高达16.9千伏……

asml光源研究所总监皮埃路易吉·塔米大呼：“上帝啊，我到底看到了什么？”

外行看热闹，而内行看到这一个个数据，已然看到一座高山，需要仰望的高山。

氟化氩技术路线不是102所提出来的，早在三十年前，就有人发现氟化氩准分子受激发射193纳米激光现象。

全世界都在研究，如何收获稳定而且有着高功率的激光光源。

而拦住的门槛可不止一个，高频泵浦电源以及激光器始终是解决不了的高山。

而双腔同步振荡放大技术则是102所的独创，基本思想是利用mo种子腔获得窄线宽优质种子光。

一般输出能量小，将种子光注入到pa放大腔实现光能量放大，获得窄线宽、大功率的优质激光束输出。双腔固态电源的引入大大提高了准分子激光器件的输出功率。

193纳米紫外线肉眼是看不见的，但探测器可以检测到，不光检测到，还可以测量这束激光的功率。

“67w，功率上下波动在5%以内！”

“……”

30w的功率就可以进入商用了，而67瓦已经超过标准的两倍。

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