sp;而想要用跟铝导线那样,用金属衬垫,然后用物理气相沉积的方法是行不通的。
按照原来的历史,intel跟ibm在接下来的五年内,将把元素周期表试了一个遍,了几十亿美元的研发费用,才找到钴钽包铜的方案。
而小赵老师为让intel走点弯路,加上一层可有可无的金、钨金属沉积层,虽然制造成本每个颗粒增加了三美元,但还是值的。
镁光很快用光谱仪分析出导线所需要的材料。
铜、金、钽、钴、钨……
头疼了,导线竟然有五种元素,不单纯是铜,他们分析不出制造工艺。
而同时intel的工程师同样在对中讯的内存颗粒进行开肠破肚。
他们同样得到两个技术指标,500纳米制程,铜连接。
“他们的导线大概78%的铜,12%的金,3%的钴还有7%的钽?”
“衬底是什么材料?”
“没有检测到衬底金属?”
intel的工程师在这个时候懵了,没有衬底金属?他们怎么解决铜沉积破坏硅基底的,想不通啊……
跟铝与硅基不亲和一样,铜沉积不是不亲和了,那是能改变硅基的物理性质,只能在铜与硅基之间加一个过渡层……可是……没有……为什么?
为什么,当然是不想让你们知道。
产品被人拿来研究,是小赵老师意料之中的事,而同时在产品上设置几道陷阱也是常有的事情。
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