36.第36章 极度震撼

式光刻机。

“所里还有一台原型机，hqgk51型光刻机一共造了五十多台，即便现在还在继续改进。”

赵国庆大为好奇，问：“何教授，hqgk51光刻机用的什么光源？”

“现在用的是大功率高压汞灯，我们在考虑使用氟化氪准分子激光器，使用248纳米的紫光源，波长比汞灯小一倍，光波干涉要小很多，预计能达到350纳米的制程。”

赵国庆点点头，在制程上，已经赶上美利坚水平了，当然，技术的进步不光是制程，自动化水平也是考验之一，毕竟对军用来说，可以不考虑价格。

但对民用来说，对价格的敏感度很高。

赵国庆又问了一些光刻胶、蚀刻设备、掩膜版方面的问题，事实上，让赵国庆很是惊讶，这些配套的设备与耗材，国家已经可以实现全国产。

可惜了，今后数年，光刻机项目也被暂停搁置了。

…………

华清微电子研究中心的底蕴出乎赵国庆的意料，设备确实是国际先进的。

来自西德的高精度电子测量仪，还有高压气象分子沉积炉，来自日本的金属原子蒸馏器，自带超声波检测仪。

接待的何振华教授也是老科工了，在莫斯科大学深造过，又到东德进修了三年，三年前去了日本进修了两年，还去ibm公司实习了三个月，刚回国没多长时间。

或许是经历丰富，人也高傲了些。

看着晶片图纸开始挑刺了。

“你们这结构经过论证吗？这是做什么的？”<

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页 / 共5页