一下制造工艺!”
“好,你看着办吧!”
童一波接过图纸,眉头立刻皱起。
“难度不小啊!你这有两道原子蒸馏,三次蚀刻,还有化学气象沉积两道,幸亏制程要求不高,不然光是校准就没办法解决。”
赵国庆说:“涉及多次蚀刻光刻清洗,是麻烦了一些!”
“这种pn结构,从来没见过这样的,做什么的?”
“军事用途,保密,童副总工,你看这能做吗?哪里可以做!”
童一波摇摇头,说:“你这个氮化镓外延层需要你们自己解决,其实你这个难度最大的还是厚度控制,误差只有上下3%……这……”
赵国庆看向高所长,微微点点头,行家一说话就说到点子上了。
“有办法吗?”
童一波摇摇头,说:“你们要是有立项的话,没有问题,没有立项蛮干的话,那问题大了!”
“什么意思?”
“需要集合不下三家单位,高精度测量仪器国内还不知道有没有,但可以用计算来辅助,特定的温度条件,每秒沉积的厚度可以推测的,但也带来一个问题,那就是不准!
要是仅仅一层还能保证,你这个叠加了七八层,累计误差会曾指数级别上升,需要摸索的次数也是恐怖的。”
赵国庆眉头微皱,意思很明白了,摸索的次数越多,的钱也越多,就跟芯片流片一样,四十年后,媒体上报导,一次流片需要上千万美元。
 
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